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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心泵閥類SMC日本XLD-40K-M9SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

產(chǎn)品簡介

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化
其 “鋁制輕量化" 優(yōu)勢場景價值:閥體采用高品質(zhì)鋁合金材質(zhì)打造,經(jīng)精密加工與硬質(zhì)陽極氧化處理,在保證結(jié)構(gòu)強度的同時大幅降低重量,相比同規(guī)格鑄鐵閥門減重約 40%,不僅便于真空系統(tǒng)的管路布局與設(shè)備集成,還能減少安裝工位的承重負荷,尤其適配需要頻繁調(diào)整或移動的真空設(shè)備(如半導(dǎo)體晶圓傳輸機構(gòu)、小型真空鍍膜機),降低設(shè)備運行時的振動干擾,間接提升真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

產(chǎn)品型號:XLD-40K-M9
更新時間:2025-11-06
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:95
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品牌SMC/日本應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,鋼鐵/金屬,綜合

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC日本氣動真空閥鋁制輕量化

SMC 日本氣動真空閥 XLD-40K-M9 是一款聚焦 “鋁制輕量化" 與 “精密真空控制" 的專業(yè)閥門,專為半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、光伏設(shè)備等高精度真空系統(tǒng)設(shè)計,憑借輕量化結(jié)構(gòu)性能,成為工業(yè)真空場景中高效控流的核心元件。
其 “鋁制輕量化" 優(yōu)勢場景價值:閥體采用高品質(zhì)鋁合金材質(zhì)打造,經(jīng)精密加工與硬質(zhì)陽極氧化處理,在保證結(jié)構(gòu)強度的同時大幅降低重量,相比同規(guī)格鑄鐵閥門減重約 40%,不僅便于真空系統(tǒng)的管路布局與設(shè)備集成,還能減少安裝工位的承重負荷,尤其適配需要頻繁調(diào)整或移動的真空設(shè)備(如半導(dǎo)體晶圓傳輸機構(gòu)、小型真空鍍膜機),降低設(shè)備運行時的振動干擾,間接提升真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
在核心真空控制性能上,該閥門表現(xiàn)突出:采用波紋管密封結(jié)構(gòu),配合高精度加工工藝,泄漏量低至 1.3×10?1?Pa?m3/s,可有效維持系統(tǒng)高真空度,避免外部氣體滲入影響工藝效果;支持二段流量控制與初始排氣可調(diào)功能,能根據(jù)真空系統(tǒng)的不同工況(如初始抽真空、穩(wěn)定保壓、工藝排氣)精準調(diào)節(jié)流量,既防止泵體過載,又提升排氣效率,45L/s 的大導(dǎo)納設(shè)計進一步保障中高流量場景下的控流響應(yīng)速度。
適配性與細節(jié)設(shè)計同樣貼合工業(yè)需求:采用氣動驅(qū)動方式,先導(dǎo)壓適配 0.4-0.7MPa 工業(yè)常用氣壓,可快速實現(xiàn)閥門常閉 / 開啟狀態(tài)切換,且支持與自動化控制系統(tǒng)聯(lián)動,滿足生產(chǎn)線無人化操作需求;提供 KF 法蘭連接方式,安裝便捷且密封可靠,適配多數(shù)真空管路規(guī)格;耐溫范圍覆蓋 5-60℃,能適應(yīng)真空系統(tǒng)烘烤工藝等溫度波動場景,同時具備氟氣耐受特性,可應(yīng)對部分腐蝕性氣體環(huán)境。
此外,該閥門在安全性與耐用性上優(yōu)勢顯著:無重金屬污染設(shè)計符合半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)對潔凈度的嚴苛要求,避免污染物影響產(chǎn)品質(zhì)量;均勻烘烤溫度設(shè)計減少閥體因溫度不均產(chǎn)生的形變,延長密封部件壽命。無論是半導(dǎo)體晶圓防污染加工、真空鍍膜設(shè)備的精準控壓,還是光伏真空系統(tǒng)的高效排氣,這款鋁制輕量化氣動真空閥都能以穩(wěn)定性能與便捷適配性,助力真空系統(tǒng)實現(xiàn)高效、可靠運行。

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